潔凈實(shí)驗(yàn)室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)
潔凈室(Clean Room)，亦稱為無(wú)塵室或潔凈室?！笣崈羰摇故侵笇⒁欢臻g范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為「潔凈室」。
通常根據(jù)實(shí)驗(yàn)室空氣中的顆粒數(shù)量，對(duì)潔凈室進(jìn)行分類。凈化等級(jí)一般分為100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)，現(xiàn)在2010年版的GMP凈化車間已經(jīng)不用這個(gè)叫法了，分為ABCD級(jí)別，劃分是參照ISO標(biāo)準(zhǔn)（歐盟采納的方式），分別相對(duì)應(yīng)于98版的幾個(gè)級(jí)別，通過(guò)檢測(cè)區(qū)域內(nèi)的塵埃粒子數(shù)、浮游菌數(shù)、沉降均數(shù)評(píng)價(jià)凈化級(jí)別，各個(gè)級(jí)別有不同的要求，凈化等級(jí)分靜態(tài)、動(dòng)態(tài)兩種。
生物潔凈室潔凈度等級(jí)
潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級(jí)
空氣潔凈度等級(jí)(N) | 大于或等于表中粒徑的最大濃度限值（pc/m3） | |||||
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um | |
1 | 10 | 2 | ||||
2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
7 | 352000 | 83200 | 2930 | |||
8 | 3520000 | 832000 | 29300 | |||
9 | 35200000 | 8320000 | 293000 | |||
潔凈度等級(jí)表
潔凈室按空氣清潔程度分類，如果無(wú)塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來(lái)敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級(jí)、10級(jí)、例如100級(jí)無(wú)塵室最大塵埃粒子數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆。如果塵粒尺寸不是0.5μm，無(wú)塵室等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來(lái)表示，分別分為1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)，數(shù)值越小，凈化級(jí)別就越高。潔凈度越高造價(jià)就越高。
各行業(yè)對(duì)潔凈室的凈化要求也有所不同：
1級(jí)：主要用于制造集成電路的微電子工業(yè)，對(duì)集成電路的精確要求為亞微米。10級(jí)：主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。
100級(jí)：可用于醫(yī)藥工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等。
1000級(jí)：主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn)，還用于測(cè)試，裝配飛機(jī)蛇螺儀，裝配高質(zhì)微型軸承等。
10000級(jí)：主要用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配，某些情況下也用于食品飲料工業(yè)，此外，萬(wàn)級(jí)潔凈室在醫(yī)工業(yè)中也很常用。
100000級(jí)：十萬(wàn)級(jí)潔凈室用于很多的工業(yè)部門，比如光學(xué)產(chǎn)品的制造，用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng)，液壓或氣壓系統(tǒng)的制造，食品飲料的生產(chǎn)，醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用。
